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本发明涉及一种用于传感器设备的微机械构件，其具有衬底、至少一个第一对应电极、至少一个第一电极和电容器密封结构，至少一个第一电极以能够调整的方式布置在所述至少一个第一对应电极的背离衬底的侧上，电容器密封结构气密地密封内部体积，内部体积具有存在...
该专利属于罗伯特所有，仅供学习研究参考，未经过罗伯特授权不得商用。

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