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红外传感器制造技术
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文档序号:35891888
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本申请提供一种红外传感器,所述红外传感器包括:像元微桥结构,包括微桥桥面及第一驱动电路组,所述微桥桥面用于吸收红外辐射,所述第一驱动电路组根据所述红外辐射输出电信号以反映目标的温度;至少一双材料热驱动结构,能够发生形变并与所述微桥桥面的下表...
该专利属于杭州大立微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州大立微电子有限公司授权不得商用。
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