下载一种多晶硅生产废气及清洗废水处理系统的技术资料

文档序号:35878643

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本申请涉及一种多晶硅生产废气及清洗废水处理系统,氮化硅瓷环清洗设备的碱性废液出口连接有缓存罐,缓存罐的出口与淋洗塔的洗涤水进口相连,储液槽内设置有隔挡板,将储液槽分隔为接收地槽和循环槽,接收地槽的进口与淋洗塔底部的洗涤水出口相连,隔挡板开设...
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