下载音圈马达行程测量装置的技术资料

文档序号:35871537

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本实用新型提供一种音圈马达行程测量装置,所述音圈马达行程测量装置包括:基体;固定设置于所述基体上的准直仪,其包括有准直激光头;固定设置于所述基体上的测距仪,其包括测距激光头,所述准直激光头与所述测距激光头位于所述基体的同一侧,所述测距激光头...
该专利属于美新半导体(无锡)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过美新半导体(无锡)有限公司授权不得商用。

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