温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种用于光刻机的防震装置，包括承载板以及立柱，所述立柱顶面中心处开设有插接槽，所述承载板底面上固定连接插接柱，所述立柱内部开设有U型槽，所述U型槽设置有第一开口以及第二开口，所述第一开口处滑动式连接有第一封堵杆，所述第二开口...
该专利属于翔嘉环境科技（江苏）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过翔嘉环境科技（江苏）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。