下载流量传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:35860110

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本发明提供一种流量传感器及其制备方法。所述流量传感器包括:一载板;置于所述载板表面的加热元件;堆叠于所述加热元件表面的测温元件;置于所述载板表面,且覆盖所述加热元件和所述测温元件的金属管壳,即能够保护传感器内部元件,又可以通过表面温度变化来...
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