下载一种能够提升压电系数的压电薄膜退火工艺的技术资料

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本发明公开了一种能够提升压电系数的压电薄膜退火工艺,具体涉及压电薄膜技术领域,本发明通过保持8mm/min的拉伸速率,PVDF压电薄膜内部结晶度增加且β相晶体增加,退火过程分为一段退火和二段退火,一段退火过程温度略高,为拉伸后PVDF基膜内...
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