下载束流分布专用探测装置和束流分布探测方法的技术资料

文档序号:35846960

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本公开涉及一种束流分布专用探测装置和束流分布探测方法。该束流分布专用探测装置包括至少一个探测器模块,探测器模块包括线阵探测器和逻辑控制模组,其中,线阵探测器,被配置为根据逻辑控制模组的指示,采集束流数据;逻辑控制模组,被配置为对束流数据进行...
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