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本实用新型涉及一种具有毛刷旋转机构的半导体晶片、液晶面板清洗机,包括清洗机以及设于所述清洗机上的送料机构和毛刷旋转机构,所述毛刷旋转机构包括:对称设于所述送料机构两侧的机架;连接于两侧所述机架、并用于提供竖直驱动力的Z轴驱动组件;设于两侧所...该专利属于苏州光斯奥光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州光斯奥光电科技有限公司授权不得商用。
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