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本实用新型涉及喷镀设备技术领域，公开一种板状工件承载装置及喷镀设备。其中板状工件承载装置包括底座、支撑组件和调节组件，底座上设置有支撑组件和调节组件；支撑组件用于支撑板状工件；调节组件位于支撑组件远离板状工件的一端，调节组件包括调节部，调节...
该专利属于昆山龙腾光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山龙腾光电股份有限公司授权不得商用。

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