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一种高结晶钛酸钡薄膜、制备方法及应用技术
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文档序号:35834009
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本发明提供了一种高结晶钛酸钡薄膜、制备方法及应用,涉及材料与器件领域,包括基材、钛酸钡层以及顶部电极层;所述钛酸钡层置于所述基材上,所述顶部电极层位于所述钛酸钡层背离基材一侧;所述基材设置为硅板、蓝宝石、具有(001)或(110)晶向的氧化...
该专利属于洛玛瑞科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过洛玛瑞科技有限公司授权不得商用。
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