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本申请公开了一种压电驱动三自由度微动电机,包括:压电驱动组件、动子、定子及导向组件,定子用于支撑压电驱动组件、动子和导向组件,压电驱动组件包括四个沿圆周方向均匀分布的压电陶瓷腿,各压电陶瓷腿均包括一个纵向伸缩压电叠堆和一个耐磨半球头,耐磨半...该专利属于长春国科精密光学技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长春国科精密光学技术有限公司授权不得商用。
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