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本发明涉及光学镀膜技术领域，尤其是一种行星转动镀膜装置的均匀性模拟和测试方法，该方法在已知蒸发源和行星夹具结构的条件下，可实现对真空镀膜均匀性的准确模拟，以及对镀膜均匀性的快速优化。将蒸发源视作具有一定倾斜角度的大口径平面靶，膜料通过物理或...
该专利属于四川中科朗星光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川中科朗星光电科技有限公司授权不得商用。

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