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多晶硅还原炉用石墨组件制造技术
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下载多晶硅还原炉用石墨组件的技术资料
文档序号:35804123
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本实用新型提供了一种多晶硅还原炉用石墨组件,包括:夹持体,中部设置有贯穿的硅芯安装孔,用于固定硅芯;石墨基座,一侧端面与电极相接,另一侧端面与所述夹持体相接,且与硅芯的一侧端部抵接;紧固件,中部设有固定孔,所述固定孔的下端套设在所述石墨基座...
该专利属于洛阳中硅高科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过洛阳中硅高科技有限公司授权不得商用。
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