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一种高吸收低热容的微测辐射热计制造技术
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下载一种高吸收低热容的微测辐射热计的技术资料
文档序号:35782349
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本发明公开了一种高吸收低热容的微测辐射热计,属于辐射热计领域,包括多个像元结构,所述像元结构包括依次连接的第一敏感单元、第一真空谐振腔、第二敏感单元和反射层,其中,反射层和第二敏感单元之间设有第二真空谐振腔,所述第二真空谐振腔用于将反射层反...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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