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本实用新型公开了一种高精度控温的沉积系统，沉积系统包括从内到外的沉积室、石墨坩埚、保温模块和外壳，石墨坩埚和保温模块间设置的加热器，还包括测温装置，所述石墨坩埚、保温模块和外壳的对应位置均设有孔，用于所述测温装置的插入；所述测温装置包括感温...
该专利属于湖南顶立科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南顶立科技有限公司授权不得商用。

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