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本发明公开一种基于TCAD的NBTI效应恢复阶段仿真方法，其实现步骤为：在TCAD仿真软件中生成目标器件结构并定义模型，对目标器件进行退化仿真，对退化后的目标器件进行恢复仿真，分别计算退化后的目标器件以及不同恢复时刻的目标器件在沟道区域和栅...
该专利属于西安电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安电子科技大学授权不得商用。

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