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一种SOI横向绝缘栅双极晶体管制造技术
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文档序号:35700350
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本发明提供一种SOI横向绝缘栅双极晶体管,第一导电类型top层分布在表面,第一介质氧化层和浮空场板多晶硅电极构成纵向浮空场板,分布在整个第二导电类型漂移区中,形成纵向浮空场板阵列,多晶硅电极插入埋氧层中。本发明在器件开态时,纵向浮空场板表面...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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