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本发明公开了一种基于硅衬底的梳齿状通道热雾化器，包括：硅衬底和电极，电极制作于硅衬底表面，电极呈环状结构，电极内侧的硅衬底表面上设置有若干个第一条形孔，电极两侧的硅衬底表面上设置有若干个梳齿型雾化通道，梳齿型雾化通道包括第二条形孔和若干个第...
该专利属于美满芯盛（杭州）微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过美满芯盛（杭州）微电子有限公司授权不得商用。

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