下载非挥发性存储器元件及其制造方法的技术资料

文档序号:35670633

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本发明公开一种非挥发性存储器元件及其制造方法。所述非挥发性存储器元件包括基底、内连线结构、多个存储器单元、多个导电通孔以及多个虚设通孔。基底具有存储器区域以及虚设区域,其中虚设区域围绕存储器区域。内连线结构设置于基底上,且位于存储器区域中。...
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