下载一种压电薄膜传感器的技术资料

文档序号:35657923

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本发明涉及传感器技术领域,具体涉及一种压电薄膜传感器,包括,压电薄膜,包括一传感器基材,传感器基材的上下表面分别设有上电极和下电极,上电极和下电极的侧边分别设有电极引出结构,各电极引出结构位于传感器基材的同一侧并且和传感器基材位于同一水平面...
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