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本发明公开了一种空心阴极离子源中和器绝缘充气结构，对空心阴极发射钽管与氩气馈入管道之间的接入结构进行改进，在增加绝缘距离的同时能够避免出现不稳定的电流，并且能够有效的缩小空间，使得维护更加方便，包括keeper壳体（1）、空心阴极发射钽管（...
该专利属于成都国泰真空设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都国泰真空设备有限公司授权不得商用。

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