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偏振片阵列与相机的感光靶面的对准系统、方法和设备技术方案
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文档序号:35639655
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本发明提供一种偏振片阵列与相机的感光靶面的对准系统、方法和设备,涉及光学元件技术领域。在进行精确对准时,控制器基于相机和偏振片阵列的位置,控制第一位移自动控制平台和/或第二位移自动控制平台在垂直方向上调整偏振片阵列与相机的感光靶面的距离,并...
该专利属于国家纳米科学中心所有,仅供学习研究参考,未经过国家纳米科学中心授权不得商用。
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