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一种金属层槽型结构的加工方法,其包括:利用掩膜层上的开口结构在介质层上刻蚀加工槽型结构;横向漂蚀拓宽所述槽型结构的两侧以在所述槽型结构的侧边与所述开口结构的侧边之间形成落差;在所述掩膜层和槽型结构表面淀积金属层并在所述落差的位置形成用于控制...
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