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本发明涉及均温板检测设备领域，尤其涉及一种VC均温板蚀刻残留检测装置及检测方法，包括底座，所述底座的顶端设有以下组件：两组对称设置的导送组件，用于对检测材料进行导送夹持；检测组件，所述检测组件上设有用于对均温板上蚀刻孔洞残留情况进行通电检测...
该专利属于江苏辅星电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏辅星电子有限公司授权不得商用。

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