温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种单颗芯片剥离的组合反射镜式长波长VCSEL的制备方法，涉及半导体光电子技术领域，该制备方法包括如下步骤：(1)在InP衬底上生长外延层；(2)在外延层表面制作第一反射镜，并将外延层刻蚀成若干单颗独立的VCSEL芯片；(3)在...
该专利属于福建慧芯激光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建慧芯激光科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。