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一种薄膜晶体管及制备方法、传感器装置及显示面板制造方法及图纸
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下载一种薄膜晶体管及制备方法、传感器装置及显示面板的技术资料
文档序号:35603577
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本发明实施例公开了一种薄膜晶体管及制备方法、传感器装置及显示面板,包括:提供第一基板;在第一基板一侧依次制备牺牲层、第一栅极、有源层和第二栅极,第一栅极在有源层上的垂直投影面积和第二栅极在有源层上的垂直投影面积不同,且面积较大的栅极完全覆盖...
该专利属于上海天马微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海天马微电子有限公司授权不得商用。
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