下载具有单光子雪崩二极管和隔离结构的半导体器件的技术资料

文档序号:35590358

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本发明涉及具有单光子雪崩二极管和隔离结构的半导体器件。实施例公开了一种成像设备,该成像设备可包括单光子雪崩二极管(SPAD)。为了减轻串扰,可围绕每个SPAD形成隔离结构。该隔离结构可包括部分地或完全地延伸穿过用于SPAD的半导体衬底的前侧...
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