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本申请公开了一种高纯度氦三气体净化与氢提取装置及方法，其中，该高纯度氦三气体净化与氢提取装置包括真空腔装置、净化部件、除氢部件以及制冷装置，净化部件通过制冷装置制冷至第一预设温度，除氢部件通过制冷装置制冷至第二预设温度，在第一预设温度下，高...
该专利属于南方科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过南方科技大学授权不得商用。

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