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本实用新型提供一种减震门阀以及工艺腔。所述减震门阀包括框架、设置在所述框架上的阀体以及用于驱动阀体移动而实现开关门阀的驱动模块,所述驱动模块通过驱动连接在所述框架上的主转轴旋转从而带动阀体转动,主转轴一端设置有止动板,所述减震门阀还包括用于...该专利属于上海理想万里晖薄膜设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海理想万里晖薄膜设备有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种减震门阀以及工艺腔。所述减震门阀包括框架、设置在所述框架上的阀体以及用于驱动阀体移动而实现开关门阀的驱动模块,所述驱动模块通过驱动连接在所述框架上的主转轴旋转从而带动阀体转动,主转轴一端设置有止动板,所述减震门阀还包括用于...