温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及蓝宝石复合衬底技术领域，提供了一种新型蓝宝石复合衬底的制作方法及蓝宝石复合衬底，其中，制作方法包括以下步骤：在蓝宝石平片上设置一层光刻胶层；对光刻胶层进行曝光处理；之后进行显影，在光刻胶层上形成孔洞；在得到的结构上沉积一层薄膜层，...
该专利属于元旭半导体科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过元旭半导体科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。