下载基于图像增强的晶圆缺陷检测方法的技术资料

文档序号:35542005

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本发明涉及数据处理技术领域,具体涉及基于图像增强的晶圆缺陷检测方法,包括:采集晶圆图像,对晶圆图像进行分块,获取每个分块图像的梯度幅值直方图;根据分块图像的梯度幅值直方图中最大的梯度幅值获取压缩上限值,对梯度幅值进行等比压缩,获得压缩梯度幅...
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