下载一种抛光材料的制备方法及应用的技术资料

文档序号:35522581

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本发明提出了一种抛光材料的制备方法及应用,所述制备方法至少包括以下步骤:将聚丙烯腈溶液与有机硅烷混合,得到混合浆料;向所述混合浆料中加入助剂,混合均匀,得到混合物;以及将所述混合物梯度加热处理,获取所述抛光材料。本发明提供的一种抛光材料的制...
该专利属于中电化合物半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中电化合物半导体有限公司授权不得商用。

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