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局域电场诱导的硅光电探测器及其制备方法技术
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文档序号:35498672
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本发明提供一种局域电场诱导的硅光电探测器及其制备方法,局域电场诱导的硅光电探测器包括:吸收层、第一欧姆电极层和第二欧姆电极层,第一欧姆电极层、吸收层和第二欧姆电极层依次层叠设置,吸收层的朝向第一欧姆电极层的一侧设有多个间隔设置的调制掺杂区,...
该专利属于北京邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京邮电大学授权不得商用。
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