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一种用磁控溅射工艺制备纳米级柱状晶硬质铜合金的方法技术
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下载一种用磁控溅射工艺制备纳米级柱状晶硬质铜合金的方法的技术资料
文档序号:35492078
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本发明公开了一种用磁控溅射工艺制备纳米级柱状晶硬质铜合金的方法,硬质铜合金包括由非晶硼基质包裹纳米级柱状铜晶构成的类竹子结构,纳米级柱状铜晶的平均直径为10nm,纳米级柱状铜晶内部晶格条纹一致,长度贯穿整个硬质铜合金,并采用磁控共溅射方法制...
该专利属于吉林大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林大学授权不得商用。
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