下载一种用磁控溅射工艺制备纳米级柱状晶硬质铜合金的方法的技术资料

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本发明公开了一种用磁控溅射工艺制备纳米级柱状晶硬质铜合金的方法,硬质铜合金包括由非晶硼基质包裹纳米级柱状铜晶构成的类竹子结构,纳米级柱状铜晶的平均直径为10nm,纳米级柱状铜晶内部晶格条纹一致,长度贯穿整个硬质铜合金,并采用磁控共溅射方法制...
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