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公开了一种测量设备和测量方法。根据实施例，测量设备可以包括：第一光学测量系统，被配置为向测量对象的目标区域照射第一光，并探测测量对象的目标区域响应于第一光而产生的第一信号；第二光学测量系统，作为拉曼散射测量系统，被配置为向测量对象的目标区域...
该专利属于深圳市埃芯半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市埃芯半导体科技有限公司授权不得商用。

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