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本发明涉及微孔激光加工工艺，具体涉及一种抗反射微纳结构的加工系统及加工方法，用于解决飞秒激光的焦深沿光轴拉长后所产生的高级衍射旁瓣会导致微孔边缘出现环状结构，影响抗反射性能，以及贝塞尔光能量过低、飞秒激光与材料相互作用导致微孔深度小于理论焦...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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