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一种用于反射光路光轴对准和面形曲率检测的系统及方法技术方案
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下载一种用于反射光路光轴对准和面形曲率检测的系统及方法的技术资料
文档序号:35486692
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本发明公开了一种用于反射光路光轴对准和面形曲率检测的系统,包括计算装置、第一、二激光光源、与光源等高的平面分光镜、分光棱镜、第一、二、三复消色差双胶合透镜、目标反射镜和图像传感器,并组成准直共轭光路:准直光路、检测反射镜光路、参考光路,图像...
该专利属于清华大学深圳国际研究生院所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学深圳国际研究生院授权不得商用。
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