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本申请涉及TOPCon电池制备技术领域，尤其是涉及一种TOPCon电池镀膜设备的组合布气装置。本装置通过可控分段式二元布气装置，保证阴极在磁控溅射镀膜时布气均匀，配合多个可调节抽气口装置，保证镀膜室维持工艺压力稳定，从而达到提高镀膜均匀性及...
该专利属于无锡江松科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡江松科技股份有限公司授权不得商用。

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