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本实用新型属于半导体器件生产技术应用设备领域，尤其涉及一种扩散硅片加热炉管内疏导气流的挡片，包括底板，所述底板内的上方设置有呈L型设计的载板，所述载板上方设置有可移动的立挡气板，且其两端呈波浪状设计，所述立挡气板下端设置有呈L形设计的衔接卡...
该专利属于济南兰星电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过济南兰星电子有限公司授权不得商用。

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