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具有氧化物条声学限制结构的横向激励薄膜体声学谐振器制造技术
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下载具有氧化物条声学限制结构的横向激励薄膜体声学谐振器的技术资料
文档序号:35434008
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声学谐振器、滤波器和方法。声学谐振器包括衬底、压电板和隔膜,隔膜包括跨越衬底中的空腔的压电板的一部分。压电板正面上的叉指换能器(IDT)包括分别从第一和第二母线延伸的第一和第二组交错的叉指换能器(IDT)指状物。交错的IDT指状物位于隔膜上...
该专利属于谐振公司所有,仅供学习研究参考,未经过谐振公司授权不得商用。
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