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本发明揭示了晶圆搬运方法、机械手及划片机，其中晶圆搬运方法采用带防掉落机构的机械手进行晶圆的抓取，防掉落机构的托钩包括连接板、托板及导向限位板，托板的顶面水平设置且低于真空吸盘的底部，导向限位板倾斜设置在托板的顶面且导向限位板的下端到托板的...
该专利属于江苏京创先进电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏京创先进电子科技有限公司授权不得商用。

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