下载一体式钙钛矿组件生产线的技术资料

文档序号:35411571

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本实用新型公开了一体式钙钛矿组件生产线,包括进片区、工作区、出片区和传动装置,进片区包括依次布置的进片台、进片腔和第一转移腔,进片台和进片腔之间以及进片腔与第一转移腔之间设有门阀,进片腔设有抽真空装置;工作区包括依次布置的空穴传输层沉积腔、...
该专利属于无锡极电光能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡极电光能科技有限公司授权不得商用。

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