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一种表面形貌与应变测量方法和装置制造方法及图纸
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下载一种表面形貌与应变测量方法和装置的技术资料
文档序号:35411181
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本申请实施例公开了一种形貌与应变测量方法和装置,所述方法包括:搭建二维光源移动数字剪切散斑干涉光路;根据所述二维光源移动数字剪切散斑干涉光路,同步确定被测物沿两个不同剪切方向的表面斜率以及位移梯度;根据所述不同方向的表面斜率,确定所述被测物...
该专利属于北京信息科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京信息科技大学授权不得商用。
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