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一种含水碱性化学机械抛光组合物，其包含具有苯基的季铵化合物，该季铵化合物使能够实现氧化硅衬底上的增强的缺陷减少，并使能够在化学机械抛光期间实现良好的氧化硅去除速率。化学机械抛光期间实现良好的氧化硅去除速率。
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