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本发明提供一种传感器及其制备方法，该传感器设置玻璃基底、由玻璃基底向外延伸出的应力隔离层以及由应力隔离层朝远离玻璃基底方向延伸出的敏感元件，由于应力隔离层的刚度低于玻璃基底和敏感元件的刚度，因此玻璃基底一侧的应力，无论是热应力还是机械应力，...
该专利属于南京新力感电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京新力感电子科技有限公司授权不得商用。

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