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本发明属于镀膜技术领域，具体涉及一种真空镀膜设备的灯丝离子源控制方法及装置，通过获取离子源电源的实时电流值，持续与设定电流值进行复核，从而快速调整离子源控制电源电流大小，实现离子源电源的动态恒稳输出。另一方面，本发明可根据离子源机构安装位置...
该专利属于常州夸克涂层科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州夸克涂层科技有限公司授权不得商用。

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