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本发明的实施例提供了一种齿轮渗碳件微区碳浓度分布的精密测量方法，涉及热处理技术领域，齿轮渗碳件微区碳浓度分布的精密测量方法通过首先设定电子探针的校准曲线，然后将预处理后的待测样品通过电子探针进行测定，并根据校准曲线对待测样品的碳浓度进行定量...该专利属于江苏丰东热处理及表面改性工程技术研究有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏丰东热处理及表面改性工程技术研究有限公司授权不得商用。