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本申请涉及微电子领域，具体公开了一种多铁薄膜前驱体及其制备方法和制得的柔性多铁薄膜。该多铁薄膜前驱体由金属盐、络合剂、溶剂制得，金属盐包括铋盐、铁盐、镁盐、钙盐和钛盐；柔性多铁薄膜包括由下至上依次设置柔性衬底、缓冲层、底电极层和多铁功能层；...
该专利属于深圳先进技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过深圳先进技术研究院授权不得商用。

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