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本实用新型涉及芯片清洁技术领域，具体涉及一种便于阵列波导光栅芯片清洁的装置，包括底座、四个支撑杆、支撑板、滑槽、多个滑块和多个芯片，支撑板具有第一凹槽，滑槽安装在底座的上方，多个滑块均与滑槽滑动连接，每个滑块上均具有多个第二凹槽，每个芯片均...
该专利属于沈阳东镭光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳东镭光电技术有限公司授权不得商用。

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